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涡轮分子泵为什么一定要充气呢?
点击次数:97 发布时间:2018-09-20
涡轮分子泵的启动快,能抗各种射线的照射,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能获得清洁的超高真空。涡轮分子泵广泛用于高能加速器、可控热核反应装置、重粒子加速器和高级电子器件制造等方面。那么,涡轮分子泵为什么到了一定时间内要充气?
当涡轮分子泵关闭或运转极慢时,泵将不再有足够大的压缩比(泵内压力梯度)来阻止前级侧存在的碳氢化合物通过涡轮叶片向真空室进行返流。这种现象称作反扩散或分子返流。在静态条件下,整个系统的压力均衡时,在前级管道侧,油的分压力通常为10-4~10-6Torr(或13.33mPa~133.3μPa)zui后也会波及到泵的入口处。当泵关闭时,适当地给泵内充气是控制油分子返流,保持真空室内无碳氢化合物的一种有效的措施。
当停泵后,碳氢化合物返流很快通过泵进入真空室内,如果系统仍保持在真空状态下,碳氢化合物将会粘在清洁的叶片和真空室的表面上。在随后再运转该系统时,将极难抽除粘着的碳氢化合物。另一方面,在涡轮分子泵停止运转时,如果给泵充入干燥氮气或干燥空气,则该干燥气体将给暴露的表面提供一层气体保护层,而且在系统充气后,返流的碳氢化合物由于与充入的气体混合起来,从而它的粘着能力很弱,在混合气体中碳氢化合物所占比例极小,在下一次抽空时也很快就能被抽走。  

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